二手 VARIAN 160XP #9130946 待售

VARIAN 160XP是一種高性能的離子植入器和顯示器，非常適合半導體制造中的大容量應用。它利用混合氮化矽束技術，確保在晶圓基板中植入離子時的最大精度和粒子控制。VARIAN 160 XP利用實時閉環光束控制系統，確保植入過程中的質量和準確性。這個系統監視晶圓每一次單獨拍攝的光束輪廓、電荷狀態、光束電流和能量，並且將改變參數是在植入周期中保持精度所必需的。160XP可以處理直徑在100至400mm之間的樣品基板，並且可以編程為同時在多個基板上進行高通量植入處理。使用介質電流植入器,它能夠提供高達4.5x1012離子/平方厘米/秒的光束通量速率,並具有精確的控制和精度。其廣泛的光束能量設置允許同時植入淺層底物和較重的摻雜劑。光束技術效率高，節省了大量成本，提高了光束的一致性和可靠性。160 XP還提供了一系列的監控元件，如粒子成像、光束電流測量、光束能量監控器和基板溫度控制。它還具有用於溫度和減速電壓讀數的數字顯示功能。此外,VARIAN 160XP還具有故障安全系統,可防止錯誤的光束控制或可能導致錯誤植入結果的光束電流變化。總體而言，VARIAN 160 XP是一種先進的離子植入器和監測器，可提供準確、精確和可靠的植入結果。它非常適合半導體制造中的批量生產應用，其監測能力確保了準確的結果和較少的缺陷。由於其高效的光束技術,160XP可以為任何生產線節省成本並提高性能。