二手 VARIAN 160XP #9143121 待售

VARIAN 160XP是一種離子植入器和監控設備，用於將各種材料的離子植入基材中。該系統能夠將鋰、硼、磷、砷等材料植入矽、砷-砷等材料的底物中。這個單元是高劑量植入器，可以以高達450K 離子/cm^ 2/sec的劑量速率植入。可以達到的最大通量（離子註入總量）為6.5E13 離子/cm^2。該機還可以用其光束控制工具控制離子束的布局，該工具由晶圓傳輸資產和光束調節模型組成。晶圓傳輸設備使用固定的離子源，然後由光束調節系統移動和旋轉。VARIAN 160 XP上的光束調節單元可以旋轉到+-50度,並且可以在距光源40厘米的距離內聚焦和成形光束。除了植入，機器還包括幾個監控系統，可以用來監控植入過程和植入材料的質量。該工具包括一系列探測器，如深度分辨率高達6.0 nm的光電二極管陣列，用於離子電流測量的法拉第杯，以及用於擴散系數測量的二次離子質譜儀（SIMS）。所有這些探測器都可以用來保證高質量的植入。160XP還包括一個用戶友好的界面，用戶可以方便地配置資產並設置各種參數，以優化不同基材和離子類型的植入參數。該模型還包括一份記錄充分的校準和維護手冊，以確保設備在其整個使用壽命期間正常運行。總之，160 XP是需要高質量離子植入系統的用戶的絕佳選擇。它能夠提供高達450K 離子/cm^2/秒的植入劑量率，其植入能力可以很容易地針對不同的底物材料和離子類型進行調整和優化。它包括一系列用於監測植入材料的植入和擴散系數的探測器，其用戶友好的界面允許快速配置單元。因此，VARIAN 160XP對於需要可靠和高質量離子植入器和監控器的用戶來說是一個理想的選擇。