二手 VARIAN 160XP #9275791 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9275791
優質的: 1992
High current ion implanter
(4) CTI-CRYOGENICS Compressors
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr-8 Chamber cryo pump
EDWARDS Source dry pump
VARIAN Diffusion beam-line dry pump
EDWARDS Rough pump
VECTOR TECHNOLOGY Scrubber
Power supply: 208 V, 5 Wires, 3 Phase
1992 vintage.
VARIAN 160XP是一種高端離子植入器和監控設備，旨在為制造商提供可靠和堅固的將離子植入基板的手段。它是一個全自動、計算機控制的系統，能夠達到10 kHz的植入率和1%的光束電流測量精度。這使其成為半導體制造所需的高精度和重復性的理想選擇。該單元采用輕量級設計,可提供節省空間的解決方案,同時還具有符合人體工程學的工作站,以實現最高的效率和舒適性。機器的核心部件包括預放大器，負責精確控制植入電流的大小和方向；用於監測光束植入能量的高精度光束能量監測器；一個專用的離子過濾器，負責從工具中去除任何不必要的離子。整個資產旨在最大限度地減少輻射泄漏的風險，並確保那些使用輻射泄漏的人有一個安全的工作環境。該模型還提供了多種精密工程選項，如指定傾斜角度的能力、多步植入過程和計算機控制的劑量調整。該設備還能夠在不同類型的離子之間切換，對多種材料進行植入，從而在生產過程中實現更多的控制和靈活性。此外,系統的自動化程度很高,易於使用,減少了手動輸入的需求。為了增加安全性,VARIAN 160 XP配備了先進的安全協議,確保不會從設備釋放不必要的輻射,並將汙染保持在最低限度。此外，機器還附帶了一系列全面的診斷和在線支持，允許用戶監控工具並在需要時獲得支持。總體而言，160XP是一種高端離子植入器和監控資產，它為制造商提供了一種可靠而堅固的將離子植入基板的工藝。該模型提供了一系列精密工程選項,並具有高水平的自動化設計,使其易於使用,並減少了手動輸入的需求。它還有一個先進的安全協議，幫助確保安全的工作環境，降低輻射泄漏的風險。
還沒有評論