二手 VARIAN 160XP #9382645 待售
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ID: 9382645
優質的: 1989
High current implanter
(4) CTI-CRYOGENICS Compressors
CTI-CRYOGENICS Chamber cryo pump
EDWARDS Source dry pump
EDWARDS Beamline dry pump
CTI-CRYOGENICS Beamline cryo pump
VECTOR TECHNOLOGY Scrubber
End station
Power supply: 208 VAC, (5) Wires, 3-Phase
1989 vintage.
VARIAN 160XP是一種用於半導體材料加工的專用離子植入器和監控器.它允許精確控制植入物劑量和使用的離子類型。它能夠以優異的分辨率和精確度將各種離子植入半導體材料中。VARIAN 160 XP提供了可變範圍的光束強度和能量設置,用於精確控制和一致的離子植入。它具有獨特的雙光束檢測器,能夠同時測量光束電流和樣品位置。這為所有植入物參數的控制和監測提供了方便.該單元對植入物的總能量和劑量提供準確而全面的測量。160XP還采用了三維計算機控制程序,為精確植入提供了更廣泛的選擇。這讓使用者可以輕易地對諸如束電流、離子類型和螺距等參數進行變更,以快速改變植入。此外,160 XP有一個內置的自動控制用於最佳植入參數,這可以根據所需的應用進行調整。VARIAN 160XP具有易於使用的交互式圖形用戶界面,非常適合廣泛的植入應用,從基本的氧化物植入物到復雜的復合半導體植入物。它具有內置光束電流和劑量監測儀等綜合診斷功能,使植入物參數和植入物質量分析比以往任何時候都容易。VARIAN 160 XP能夠在單個電子束下執行最多三個植入物。其用途廣泛的設計也讓它被整合到有多個離子源的植入系統中。該裝置也是靈活的,允許植入到多個樣品與不同的植入條件。160XP憑借其先進的電子組件和先進的軟件算法,可以實現非常高的準確性和精確度。它還具有快速的響應時間,使得它更有效地監測植入條件。160 XP是高產植入以及需要精確控制植入參數的復雜設備的理想選擇。
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