二手 VARIAN 160XP #96723 待售
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已售出
ID: 96723
High current implanter
Standard Configuration (manual wafer loading)
(Qty 2) Sources
(Qty 2) Vaporizers
Spare defining plate
Spare manipulator
Dry Pump for Source RP Leybold D50
Edwards 200 for E/S
Disk 4" / 6" configured
4" and 6" available (spares)
Implant Monitor Software (150 recipes)
Record of resistivity and particle on request
Gasbox 4 lines / 3 in use (Argon / Boron / Phos)
Warehoused
1985 vintage.
VARIAN 160XP是一種離子植入器和監控器,廣泛應用於半導體工業。VARIAN 160 XP是一種高度先進且可靠的植入器,可用於多種應用。它具有先進的脈沖功率輸送設備,對光束電流和劑量以及精確的劑量均勻性提供了極好的控制。此外,160XP還有一個自動擺動系統,有助於為沈積應用程序創建更均勻的層厚度。160 XP還具有許多安全功能,例如先進的粒子探測器、光束電流限制器和碰撞保護單元。這確保了機器能夠安全有效地運行,即使在使用高能粒子的應用中也是如此。VARIAN 160XP還配備了最先進的監視器,可跟蹤光束參數、電流穩定性和操作的其他關鍵方面,確保該過程盡可能高效和準確。這款顯示器與脈沖供電機相結合,使VARIAN 160 XP提供無與倫比的劑量控制和精度。160XP使用先進的離子光學器件,例如射頻透鏡或靜電偏轉器來控制光束輪廓,並將離子引導到所需的目標。其集成的源磁體允許光束被精確地引導,而其高分辨率成像工具確保只擊中所需的目標。160 XP除了它的諸多特性外,在設計上也考慮到了方便。它操作極易,用戶界面簡單明了。VARIAN 160XP還具有廣泛的診斷工具和遠程性能監控功能,所有這些都進一步簡化了其操作。VARIAN 160 XP是一種堅固可靠的離子植入器和監視器,具有極好的精度和準確性。其先進的特點和人性化的設計,使其成為各種沈積和梁應用的絕佳選擇,其眾多的安全特性保證了它可以放心地操作。
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