二手 VARIAN 180XP #9404418 待售

VARIAN 180XP
ID: 9404418
High current implanter.
VARIAN 180XP是一種用於半導體制造過程的離子植入器和監控器。它是一個可靠的,用戶友好的設備,簡化基板植入,允許精確控制。這使得它成為興奮劑、沈積、興奮劑分析等應用的理想選擇。VARIAN 180 XP具有集成的快速離子監控器,該監控器具有積極優化的電勢,可優化離子傳輸。此外,這種裝置通過使用一組集成的電子和離子透鏡,在廣泛的電流範圍內提供增強的植入器性能。通過使用這些鏡頭,180XP可以實現大大小小的光斑尺寸。此外,它還可以準確地定義植入物的梁輪廓所形成的模式。180 XP具有精密的離子傳輸單元,可以在各種暴露和能量下提供高質量的離子。電子束能量可調整至10kV.此外,VARIAN 180XP具有爆裂模式、重復植入模式以及選擇最合適的離子物種沈積所需劑量的能力。這使得它成為需要精確控制的應用程序的理想選擇。此外,VARIAN 180 XP還具有先進的氣體驅動光束面板,可保護真空室免受有害大氣的影響。這樣可以防止電子逃離目標區域並將不希望的汙染沈積在附近的元件上。該設備與基於PC的界面集成在一起,為用戶提供控制、數據采集和數據分析功能。它還附帶了一組支持軟件程序,包括圖形程序、性能監控應用程序和打印的無報告模式。180XP不僅精確,而且需要低功耗和最小的維護。該裝置設計為在操作過程中能承受機械沖擊,具有廣泛的安全特性。這使得它成為各種半導體制造的理想選擇。
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