二手 VARIAN 300XP #293829234 待售
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ID: 293829234
晶圓大小: 5"-6"
Ion implanter, 5"-6"
Wheel
Wafer tilt: 7
Source: Beam
Extraction system: Copper pipe/bellow
Gases: BF3, Ar, PH3
SDS Gas box: High pressure
Maximum implantation energy: 120 Kev
Maximum Extraction voltage: 80 Kev
Cooling water pump
(2) Trays
AMU
Beamline column
Mechanical clamp
8 x 3 Cryo.
VARIAN 300XP是由VARIAN, Inc開發和制造的離子植入器和顯示器。廣泛應用於半導體工業中，用於在薄膜材料中植入離子。這種離子植入器和顯示器被設計成極其可靠和準確。VARIAN 300 XP采用高壓和動能相結合的方式實現精確和受控的離子植入。300XP將離子加速到高速，並以精確控制的劑量和角度註入薄膜。這樣可以使植入的離子分布更加平滑和均勻，從而得到更可靠和準確的結果。300 XP使用獨特的差分泵送技術對整個工作室內進行真空處理，創造了一個清潔一致的環境，可以在其中植入離子。這降低了汙染的風險，並確保了準確和一致的結果。VARIAN 300XP還具有一個集成的粒子檢測和接收系統，允許在植入過程中立即和基於SPC的終點拒絕粒子。這使用戶可以更好地控制植入過程,並有助於確保獲得最高質量的結果。VARIAN 300 XP還具有自動晶圓定位系統，可實現精確的晶圓定位和放置。這減少了植入的時間和成本，提高了每次植入的準確性。300XP設計易於使用和維護。這使得它對於各種應用程序都具有很高的效率和經濟效益。能夠產生符合最嚴格要求的高質量離子植入效果。因此，它是許多半導體制造商最值得信賴和可靠的選擇。
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