二手 VARIAN 300XP #293830781 待售

VARIAN 300XP是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates設計制造的高精度離子植入器和顯示器。設計用於半導體制造和研發應用。VARIAN 300 XP是一款高可靠性、高性能的植入器，提供出色的劑量均勻性、穩定性和最大束電流。300XP通過將一束離子束轉移到目標材料而起作用。離子被高壓電源加速，產生一束具有指定能量和劑量速率的離子束。然後在目標材料表面掃描離子束，將離子植入材料中。光束可以以直線（直線）、光柵、螺旋或來回模式移動,掃描區域由目標大小、任何物理掩碼模式或正在使用的軟件程序確定。還可以配置300 XP,以提供10-150 keV的各種離子能量,具體取決於所需的植入深度。光束電流可以在5-50 mA的範圍內調節，以達到均勻的劑量分布，或適應目標材料吸收率的變化。VARIAN 300XP還采用了多種其他離子束修飾技術，如質量能量結合和能譜掃描，這使得得到的劑量更加均勻。VARIAN 300 XP包括一個先進的監控系統，它使用感應電極來跟蹤在植入過程中離子束的確切位置、電壓和電流。這個監控系統在視頻監視器上向操作員提供實時的視覺反饋，這樣就可以不斷檢查光束位置和光束電流輸出的精確坐標。監測系統還確保在植入過程中使用的劑量率始終保持在可接受的限度內。300XP是一種可靠、高精度的離子植入器，具有極高的均勻性、穩定性和最大的光束電流。這使得300 XP成為半導體制造和研發應用的理想選擇。