二手 VARIAN 300XP #9236850 待售

VARIAN 300XP離子植入器是一種用於將離子植入半導體晶片的裝置。VARIAN 300 XP是一種生產級植入系統，能夠將Ga和As離子都植入半導體晶圓中。離子植入器和監視器使用連續流動的離子源將離子植入晶片，然後由離子植入器和監視器監控。300XP能夠以特定能量傳遞離子，其能量範圍從5 keV到10 MeV。最小光束光斑尺寸1.5mm，最大光束光斑尺寸15mm。此外，它還具有用於蝕刻薄膜的等離子體源和用於沈積金屬膜的真空熱蒸發源。300 XP具有真空監控器和控制器,用於監控植入過程中使用的氣體的溫度和壓力,並確保安全的系統運行。它還有一個能量監測儀來測量離子賦予半導體材料的能量量。VARIAN 300XP可以被編程來改變植入物和電子束參數。這允許用戶為他們所需的過程自定義植入。用戶還可以設置限流、能量控制等控制參數。VARIAN 300 XP是一種可靠高效的離子植入器.產量好，光束光斑大小一致。其安全特性保證了系統的安全運行，可調參數允許用戶根據自己的需要定制植入。