二手 VARIAN 300XP #9302574 待售

VARIAN 300XP是一種用於半導體制造的高精度離子植入器和監控器。它為各種應用提供精確精確的光束控制，包括半導體沈積、離子註入和晶圓清洗。VARIAN 300 XP是一種直流電（DC）源，利用穩定準確的束流來實現高分辨率的離子植入。這樣就可以在低背景下將較小的離子註入大大小小的材料中。該設備還可以植入高能離子，比其他植入物具有優勢。300XP還具有可變能量離子源，允許可調能量設置，以提供植入材料層所需的精度和可重復性。300 XP能夠進行除氣、蒸發、濺射和基材蝕刻應用。該系統提供了廣泛的材料和離子物種植入廣泛的底物類型。該單元具有1.9 μ m的軸上光束掃描位置分辨率,允許將小特征精確地放置在基板上。該機器還具有用於存儲數據和算法的數字內存存儲。此內存存儲允許存儲植入過程中使用的參數。此信息可用於幫助優化工廠性能並在應用程序中提供可重復性。VARIAN 300XP配備了一個30英寸的顯示器，用於對植入過程進行準確、詳細的分析。顯示器還包括一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶快速定位和監控植入操作。該工具還為用戶提供了遠程監控功能，使用戶能夠被告知植入中的任何異常，以及從遠程位置調整和監控參數的能力。VARIAN 300 XP是一種高度可靠和通用的植入器和監控資產,為各種應用程序提供了高精度和可重復性。它是半導體制造中最流行、最成功的植入系統之一。