二手 VARIAN 300XP #9395137 待售

ID: 9395137
優質的: 1995
Ion implanter, 6" PC Included Pumps: VARIAN Diffusion pump (3) CT8 Cryo pumps (3) VARIAN 2012 Oil pumps Pressure: Incoming CDA: 100 psi N2: 20 psi Gas: (4) Toxic MFC Controlled systems Power supplies: Extraction PS: GLASSMANN with external stack Accel HV: GLASSMANN Power: 208 VAC, 32 kVA CE Marked 1995 vintage.
VARIAN 300XP是一種最先進的離子植入器和顯示器,旨在為半導體加工提供可重復的植入過程。VARIAN 300 XP具有卓越的可靠性、高吞吐量和卓越的精度,是芯片制造植入需求的首選。300XP配備了強大的800 MeV、5 mADynamic離子束和獲得專利的低能反沖(LEB)技術。這些特性提供了均勻的植入物輪廓和高精度,光束分數小至4微米。能夠處理緊密的光斑大小和掃描橫跨晶圓的光束,因此具有卓越的可重復性。該設備采用三重磁鐵拆卸系統,即使在惡劣的環境中也能主動穩定光束輸出。它還擁有先進的控制單元,具有人機界面(HMI)顯示、實時配方和用戶可編程的運行結束配方控制。這使得機器的操作更加簡單和準確。300 XP工藝監控器可實現精確的參數控制和長植入物.顯示器的集成光譜儀,與晶圓相機和實時結束運行分析,提供精確和詳細的檢查植入過程的問題。除此以外,該工具還配備了令人難以置信的安全和環境特性,允許高效操作而不會造成損壞或汙染的風險。VARIAN 300XP旨在幫助芯片制造商跟上不斷變化的行業需求。這是通過其緊湊的設計、低功耗和用戶友好的性能來實現的。它的準確性和可重復性,以及操作界面,使得它成為那些正在尋找可靠和高效的離子植入器和監視器的人的理想選擇。
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