二手 VARIAN 345 #9064802 待售

VARIAN 345是一種串聯的電動離子植入器和顯示器，旨在滿足現代半導體、醫療和工業離子植入應用中最苛刻的要求。345采用最先進的技術建造,可提供高達35mA的最大光束電流,高達400 keV的光束能量,以及0.2 µs的最小光束停留時間,以實現極其精確和精確的逐個原子調制和控制。該機采用先進的光源中和設備，使光束均勻性最大化，產生更精確的離子束，同時保護光源免受濺射損傷的可能性。該系統提供了優越的源壽命，同時確保了高水平的離子植入精度。此外,該單元不需要額外的背面中和,這允許直接控制通過源的光束電流,從而消除了背面中和所需的任何調整,從而提高了精度。該機器還配備了先進的光束掃描機，能夠掃描晶圓或樣品的兩側，以確保離子束的精確定位和捕獲。掃描工具還提供了高度精確的光束點包圍圈,還提供了多種控制選項,用戶可以快速調整光束形狀和光束大小,以進一步定制離子植入過程。VARIAN 345還配有先進的離子束監測儀，能夠在整個植入過程中檢測和監測離子劑量、能量和位置的水平。監測儀可以檢測到不同類型的摻雜劑，如硼、砷、喹、磷和鋅，並報告準確的劑量水平以進行精確的植入控制。最後,但並非最不重要的一點是,345還具有數字監控資產,允許用戶使用圖形用戶界面查看、分析和配置植入參數。此模型還提供了內置診斷程序,以便於進行故障排除,而易於存儲的設置可以被召回,以便在以後的植入過程中使用。VARIAN 345是一款用途廣泛、功能強大的離子植入器和監控器，旨在滿足現代離子植入應用的嚴格要求。345具有先進的技術和特點，是當今市場上最可靠、最精確的離子植入系統之一。