二手 VARIAN 350D #191972 待售

VARIAN 350D離子植入器是一種最先進的植入設備，旨在產生高度精確和均勻的離子植入。它通過集成高精度雙相交光束線來實現這一點，該光束對光束進行優化，以實現最大的工藝穩定性和均勻性。該系統將一個特殊的低攝動低能量散射室與寬光束接受度相結合，進一步提高了光束穩定性。VARIAN 350 D用途廣泛,可為用戶提供多種定制選項。它與廣泛的晶圓尺寸和植入物劑量兼容。因此，它可以配置為多種植入過程，包括鈍化、陽極氧化和摻雜。此外，該單元可以編程為在高能或低能下植入離子，這取決於被植入的材料。350D還配備了高級監視器。這包括許多傳感器,這些傳感器可以測量和優化刀具的參數,如光束電流、光束模式、能量和加速度。這允許用戶確保植入過程平穩運行，並對任何異常或波動做出快速反應。此外，還可以遠程訪問監控資產，從而使用戶能夠從世界任何地方監控流程。總之，350 D是一種先進且用途廣泛的離子植入器和監測器。它能夠生產均勻、精確的植入物，其復雜的監控模型能夠快速、高效地優化光束參數。此外，該設備可靠且易於使用，為用戶提供了對植入過程的完全控制。