二手 VARIAN 350D #293595050 待售
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ID: 293595050
晶圓大小: 6"
Ion implanter
Dual end station, 6"
Freeman source
HP Gas unit
Beamline cryopump
BIC / BROOKHAVEN INSTRUMENTS CORP Digital scanner
Monitor scope, 5"
Remote operation unit
Current integrator
Vacuum gauge controller
GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC Power supply: 180 kV
(2) Cryo-Torr 8 Cryopumps
Diffusion pump.
VARIAN 350D是一種用於制造半導體器件的離子植入器和顯示器。它用於半導體晶片的離子註入和快速熱處理。VARIAN 350 D具有非常廣泛的功能，使其能夠為所有類型的半導體器件提供最佳性能。350D配有高功率脈沖離子源和高精度控制光束電流和電壓。它也有各種等離子體蝕刻和清潔室，可以用來快速清洗和蝕刻半導體晶圓。350 D還具有低能離子轟炸源，允許對半導體材料的結構進行詳細探測和成像。VARIAN的成像能力350D有助於提高設備制造的整體質量。它還有一個監控系統，允許用戶在植入過程中隨時目視觀察離子植入過程。監控系統還允許優化植入參數，如波束電壓、電流和掃描速度。VARIAN 350 D能夠快速熱處理，意味著它可以在短短幾秒鐘內達到900攝氏度的溫度。這使得350D非常適合需要極精確溫度的制造工藝。350 D還能夠多種物種植入，允許將硼和/或磷精確摻入半導體材料中。VARIAN 350D除了擁有多樣化的特性和功能外，還具有先進的安全功能。它具有多級安全系統，旨在保護用戶免受電擊和短路。這使得VARIAN 350 D即使在實驗室或工業環境中也能安全使用。350D是一種功能廣泛、功能強大的離子植入器和監控器，能夠為制造半導體器件提供優異的效果。它配備了廣泛的特性和功能，使其成為大型和小型半導體器件制造的理想選擇。
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