二手 VARIAN 350D #293641021 待售

VARIAN 350D是為生產半導體晶片而設計的高精度、高電流離子植入器和監控設備。該系統能夠在1 keV至500 keV的廣泛能量範圍內植入多種類型的離子，包括硼、氧和氮。該單元設有兩個獨立的植入室，允許從多個晶片同時植入和數據收集。VARIAN 350 D的電子控制和監控機配備了多種節省時間的功能。光束強度控制工具對光束電流進行精確調整，以優化晶圓性能，而先進的晶圓調平設備確保均勻植入。集成缺陷檢測模型可檢測植入過程中的缺陷,並允許在將晶圓送入包裝之前采取糾正措施。該設備的真空系統包括高效渦輪分子泵和可調渦輪真空室，可實現高水平的工藝重復性。根據所需的加工參數，可以最佳地調整預真空以及後室的壓力和溫度。該裝置的兩個高效率的10個區域crucibles可以同時植入多達10個晶圓。全自動端點檢測機對腔室變量進行精確監控，確保盡可能的最佳植入過程。350D提供了高質量、高性能半導體器件所需的精度和精確度。此工具可確保高吞吐量生產,最大程度地減少停機時間,並降低總體成本。它是一種可靠、高性能的資產，非常適合用於所有類型的半導體生產作業。