二手 VARIAN 350D #293641024 待售
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VARIAN 350D是一種用於半導體晶圓加工的重型高精度離子植入器和監控器。它專為大批量生產需求而設計，植入參數廣泛，工藝精度高，擁有成本低。VARIAN 350 D是具有VARIAN電子束源和新型渦輪加速器技術的單端四區雙炮設備。脈沖X射線電離確保離子計數的最佳控制。該系統包括一個有精密閉環控制的46通道電弧準直儀和一個100 kV可變壓力槍。植入器的光束光斑尺寸可根據需要和基板進行調整，能夠創建廣泛的植入物幾何形狀和光束輪廓。該裝置設計靈活，操作方便。它的多站接口能夠同時控制多個進程，從而實現高效的植入運行。該機器具有直觀的警報警告和整個植入過程中過程條件和參數的實時反饋。此外，350D還配備了先進的光束能量控制工具，可自動調整所有光束能量設置的優化和精度。350 D的最大光束電流為250 mA，最大電壓為75 kV，光束能量範圍為0.2 keV至1.0 keV。大範圍的基材可以以任何劑量速率植入，最大劑量速率為2000 neV/cm^ 2.s，最大晶圓尺寸為7英寸。該資產提供高精度、低濺射和改進的均勻性。此外,高級維護和診斷功能能夠監控模型性能,並為預防性維護活動提供支持。VARIAN 350D是一種可靠、高效的離子植入器和監測器.其高精度水平和快速植入時間使其能夠處理具有挑戰性的底物，並實現長期成本節約和工藝改進。它的高級功能和多個可配置參數為用戶提供了滿足現代半導體生產需求所需的靈活性。
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