二手 VARIAN 350D #293740209 待售

VARIAN 350D
ID: 293740209
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 350D是一種用於多種應用的高性能離子植入和監控設備。這個發電站能夠在標準協議中提供高達150 keV的光束電流,在擴展協議中為重摻雜項目提供高達350 keV的光束電流。人體工程學室的設計減少了操作員的疲勞,其快速調諧的激光標記室非常適合動態或基於參數的處理。VARIAN 350 D提供獨特的光束對目標電容電流監視器,提供無與倫比的精度和精確度與特殊的低漂移特性。這有助於確保高質量的植入與清潔和可重復的結果。該系統還設有數字對齊單元,簡化了對齊過程,不需要復雜的調整和對齊目標。腔室設計還允許精確精確的光束居中,以確保高精度和重復性。本機還提供了廣泛的可選配件,包括刀具控制單元、離子槍控制單元、線性步進電機、光學編碼的精密控制、光束限制器和激光標記室。這允許用戶自定義資產以最好地滿足他們的需求。諸如自動定位、點焊和掃描采樣等特殊功能可提供精確的過程控制。該模型還具有廣泛的參數和設置,可以調整這些參數和設置以提供最佳的工藝結果。此外,350D還提供了一個完全集成的軟件包,便於訪問設備的所有參數和功能。該軟件還可用於分析和比較晶圓模式,執行手動更正,並保存用戶定義的加載序列和設置。該系統強大的設計以廣泛的性能保證和業界領先的3年保修為後盾。總體而言,對於希望在多個行業中探索廣泛應用的用戶來說,350 D是一個理想的選擇。它提供了一系列精確、可重復植入的功能和設置,以及易於使用的軟件,用於高效監控和過程控制。
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