二手 VARIAN 350D #293765991 待售

VARIAN 350D是用於半導體工藝的最先進的離子植入器和監控設備。這種用途廣泛的設備可用於各種應用，如摻雜、退火和離子銑削。該系統由植入器、監視器和多個計算機系統組成,用於控制設備。植入器利用能量和磁場加速離子到目標晶片，在那裏它們被植入表面以實現不同的化學和電學性質。顯示器用於測量離子電流並確保其在可接受的範圍內。VARIAN 350 D以單端加速器設計為基礎，並以鋁陶瓷光學（ACO）鏡頭為特色，這是一款獲得專利的線性分級鏡頭機，為可靠和可重復植入提供了優質光束點。ACO透鏡有一個可調節的焦點，可以調整，以確保晶圓中特定深度的均勻植入密度。該工具還具有集成的計算機化控制資產和用戶界面，可用於監控和修改植入過程。350D是一種精確可靠的植入器和監控器模型，能夠為大批量生產半導體制造提供高精度和受控的工藝。它專為最高的工藝靈活性而設計,提供一系列光束點大小、電流、劑量和能級,以及多種光束類型,如單光束、雙光束、多光束和組合光束。該設備還具有獨特的SIMPLE編程語言和數據采集設備，允許用戶存儲和回憶各種工藝參數。該系統還配備了限值檢查和警告系統，這有助於確保所有植入參數都在安全限值之內，並確保任何超出耐受性的條件都能迅速識別和糾正。總之,350 D是一種可靠、高效的離子植入器和監測裝置.它能夠將不同的摻雜劑和離子精確地植入晶片中，並具有一系列功能和工具，如可編程極限檢查和簡單數據采集，有助於確保所有植入過程都是精確和可重復的。該設備非常適合大批量生產應用,對任何半導體制造商都是一項寶貴的資產。