二手 VARIAN 350D #9229054 待售

VARIAN 350D是一種可靠、高性能的離子植入器和監控器，設計用於對大中區半導體晶片進行超精確的植入和監測。VARIAN 350 D具有令人印象深刻的均勻點分布和卓越的精度,是一種先進的植入系統,適用於各種應用,包括集成電路制造、薄膜沈積、內存設備制造和摻雜應用。350D具有高速電子槍、兩臺質量分析儀和數字信號處理功能，可實現精確的植入。電子槍能夠產生高達10 keV的電子，其束電流高達15mA，質量分析儀能夠根據其質量電荷比精確分離離子。利用數字信號處理算法對波束參數進行實時分析和優化，確保植入效率和精度。350 D配備了一系列硬件和軟件功能,能夠有效地實施離子植入過程。其中包括用於控制光束曝光時間的光束快門、用於精確編程植入時間的毫秒延遲發生器，以及用於方便監控和調整各種參數的屏幕圖形界面。此外,VARIAN 350D還具有廣泛的安全和安保功能,包括可鎖定的安全門和先進的電流限制器,以防止過量的電流損壞。VARIAN 350 D還具有令人印象深刻的各種能源選擇，有多種可選能量可供選擇，最高可達8 MeV，允許植入各種摻雜劑。總體而言，350D提供卓越的性能和可靠的植入和監測解決方案，以確保一致準確和精確的結果。它是半導體工業中各種離子註入工藝的絕佳選擇。