二手 VARIAN 350D #9409512 待售

ID: 9409512
Ion implanter.
VARIAN 350D Ion Implanter and Monitor設備是由半導體設備制造商VARIAN, Inc.開發的高性能離子植入系統。這種裝置旨在促進離子植入材料中以改變其物理和電學特性。它采用束提取、質量選擇和能量過濾機制的組合,將離子精確註入目標材料。VARIAN 350 D是一個全自動單元,使用高度精確的數字控制技術,以確保一致的離子植入性能。它有四個基本組成部分-源、偏置、光束線和目標。離子源負責創建所需的離子束,然後由束線組件引導。偏置分量利用靜電場改變離子束的軌跡,目標材料是離子正在植入的材料。350D包括先進的安全功能和診斷系統,使用戶能夠實時監控植入參數。該機還能夠進行自我校準和性能驗證,確保植入物質量始終如一的完美。此外,它還可以配備各種離子噴射器和光束監測器,以滿足專門和高精度的要求。植入過程由VARIAN開發的控制軟件控制,該軟件允許用戶在需要時監控和調整植入參數。此外,350 D能夠處理各種晶圓尺寸,從0.1mm到300 mm,使其適合廣泛的應用。它還可以處理各種離子種類和光束電流,直至20mA,允許用戶安全地將離子植入到他們的目標材料中。VARIAN 350D可靠高效,可最大限度地減少對生產力的影響,同時提供優異的植入效果.其多種安全機制確保設備操作安全,其診斷功能為用戶提供植入性能的全面反饋。其柔韌性和準確性使其成為離子註入的理想選擇,其可變電源提供了廣泛的光束電流,可以可靠地控制。
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