二手 VARIAN 350DE #9104473 待售

VARIAN 350DE是一種高度先進的離子植入器和顯示器，設計用於制造半導體芯片中的電子電路。它能夠以非常精確的水平植入離子，並具有各種不同的離子能量和劑量遞送。它具有先進的靜電計和監控設備，允許用戶監控植入過程的整個過程。單位還設有一系列安全聯鎖裝置，確保用戶安全，防止意外接觸顆粒。350DE植入器利用一系列高壓電離網產生穩定的離子束。然後將該光束聚焦到具有加速電壓的緊密光束中。聚焦光束隨後通過一系列具有特定開口大小和形狀的孔徑，以確保準確植入。為確保均勻的劑量傳遞，每個電離柵極上的電壓是可調的，以提供均勻的光束。VARIAN 350 DE的集成靜電計和監控系統允許對整個植入過程進行實時監控。它提供了過程中各個時間點電壓、電流、溫度和光束強度的詳細日誌。該單元還監測植入每個晶片的顆粒數量和交付的總劑量。這允許用戶微調參數設置以獲得最佳性能。350DE植入器還具有一系列安全聯鎖裝置，以保護用戶。這些聯鎖裝置在發生電湧時會關閉設備並關閉機器電源。該設備還具有一個緊急關閉開關,該開關可立即停止該設備並關閉該工具的電源。此外，該裝置還配備了緊急排氣設備，以在發生故障時安全地排出有害物質。VARIAN 350DE是一種高度精確、高度可靠的離子植入器和監控器。其先進的特點和安全聯鎖，確保了植入過程的高效、安全完成。其集成的靜電計和監視器模型在整個過程中提供詳細的反饋，允許用戶微調設置以獲得最佳性能。