二手 VARIAN 350XP #293600209 待售
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VARIAN 350XP是一種離子植入器和顯示器，設計用於半導體加工應用。該系統由預輻射室和真空密封植入器頭以及用於控制和數據采集的數字信號處理器組成。預輻射室模塊裝有主離子源、整體質量分離器和內部安裝的計算機，用於生成和監測所需的光束特性。機器的這一部分與植入器室分離，允許快速植入，而不必先後重新建立參數。植入器模塊由單軸龍門、真空密閘閥、集成質譜儀的腔室組成。該設計允許可變停留時間以及沿龍門的可變位置。植入器源具有低溫操作範圍，可用於植入各類離子，包括鈈、鋁等重離子。內部屏蔽最大限度地減少了反向散射，減少了樣品汙染的數量。綜合監測和控制系統利用數字信號處理器（DSP）促進準確植入並確保所需參數得到維護。這允許自動調整梁的形狀和質量，並監控諸如腔室壓力等工藝條件。350XP設計能夠快速、可靠和準確地跟蹤樣品位置,而不會影響準確性或質量。它可以用來植入所有能量的離子，從十分之一的keV到幾個巨型電子伏特，並且適合在廣泛的材料上使用，包括半導體晶圓和納米線。該系統非常直觀、用戶友好，是半導體加工行業人士的絕佳選擇。
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