二手 VARIAN 400-10 #9105618 待售
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ID: 9105618
High current ion implanters
(1) Cassette to cassette end station
(1) Research cube end station.
VARIAN 400-10是一種用於半導體制造的離子植入器和監控器。用於將原子級粒子如硼、磷、砷引入半導體材料的表面和層。這種技術稱為離子註入,用於創建晶體管、二極管和其他半導體器件。400-10的基本成分包括離子源室、離子束發生器、3維掃描裝置和法拉第杯。離子源室容納要植入的目標材料,以及設置離子的能量。離子束發生器加速離子,使它們能夠植入目標材料中。3維掃描設備用於確保所需區域的均勻覆蓋。法拉第杯檢測流經離子束的電流量,用於測量被植入離子的劑量。VARIAN 400-10允許精確控制植入過程。可以調整植入離子的能量和劑量,以匹配靶向材料的性質。3維掃描裝置允許精確覆蓋所需區域,確保植入離子的深度均勻。此外,還可以監視系統的操作,以檢測任何潛在的錯誤或故障。400-10還包括幾個功能,可提高安全性和可靠性。離子束被封閉在真空室中,以防止任何環境暴露。此外,該機器還配備了先進的警報系統,旨在提醒操作員註意任何潛在的危險。總體而言,VARIAN 400-10是一種可靠和先進的植入物,能夠為各種半導體應用精確地將原子粒子引入目標。它對植入過程的精確控制,以及其安全特性,使其成為行業專業人士的理想選擇。
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