二手 VARIAN 400-10 #9156375 待售
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VARIAN 400-10是一款功能強大的離子植入器和監控器，旨在精確地將離子植入半導體器件中。離子植入器能夠將離子沈積到廣泛的材料中，包括金屬、氧化物、氮化物和碳化物。通過離子源、質量濾波器和光束引導設備這三個主要部件的快速調節能力，實現了對該裝置的高度精確控制。400-10的離子源是一種高功率的電弧放電離子源，提供高能級和均勻的空間離子分布。它具有將離子束引導到30 nm點大小的能力。可以調節用於實現離子束的背景氣體，從而可以精確控制離子註入的重復性。質量濾波器可以選擇要植入的離子範圍，從光束中消除不希望的離子，允許對材料成分進行微調。光束引導系統提供了一個可調節的電場，以預定角度引導離子進入材料。該單元提供了多種功能，有助於確保離子植入過程可重現和精確。這些特點包括光束能量控制、動態光束掃描控制、抗輻射材料和低噪聲電源。脈沖調制光束控制有助於確保植入劑量的均勻性，以及提供對植入角度的精確控制。該機器還提供自動劑量結束感應，有助於確保準確的植入率。VARIAN 400-10還實時監控離子植入器，提供光束位置和狀態的恒定視覺。這樣可以監控光束的能量、輪廓和電流,以及植入物的速率和輪廓。從監視器收集的數據可用於確認植入條件的正確性，並確保材料已正確植入。總體而言，400-10是一種先進的離子植入器和監視器，為成功的半導體器件植入提供了必要的準確性、精確度和可重復性。它的特性允許精確控制光束的方向、能量和輪廓,從而為特定應用提供理想的材料組合。
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