二手 VARIAN 5394001 #9260504 待售

VARIAN 5394001是一款設計用於集成電路先進制造的高性能離子植入器和顯示器。這種設備結合了先進的控件和監視器，例如20通道數字I/O控制器，使其能夠實現對植入物電流、電壓和能量的精確和可預測的控制。該設備還設計用於監測和測量離子植入過程中室內植入氣體壓力的分布。5394001集成了許多功能以優化市場性能。這包括了一系列單獨的工藝組件，如無源型陰極、多盒式離子源、離子束門、掃描平臺和多軸掃描儀。此外,系統可以配置為切換具有不同增強轉向能力的離子種類。高精度XYZ級的運行行程為6英寸,為多位置晶圓植入提供了出色的穩定性。VARIAN 5394001的其他特性包括其自動調諧技術，有助於確保一致和可預測的植入過程結果。該單元還包括先進的診斷工具，如腔室氣體分析機、腔室性能監視器和培訓和操作員管理工具。5394001通過集成的軟件和硬件提供一流的監控。其自動調諧技術與先進的控制平臺相結合，為用戶提供了出色的植入作業控制和卓越的植入效果。該資產還被設計為在溫度穩定性、均勻性和可重復性方面提供卓越的性能。VARIAN 5394001是一個可靠、健壯的模型，非常適合先進的集成電路制造。這種離子植入器和顯示器提供卓越的性能和精度以及卓越的監控能力.它的高級控件和監視器,以及自動調諧和診斷功能,使其能夠為離子註入提供一流的性能。