二手 VARIAN 8010 #9068893 待售

VARIAN 8010是一種離子植入器和監控器，旨在提供精確劑量的用於半導體和其他高科技裝置制造的高能離子。離子被註入基材，如半導體晶圓，以創建所需的導電層圖樣。8010是制造的重要工具，因為它提供了對註入離子劑量的精確控制。VARIAN 8010包括一個離子源和兩個精密離子植入系統。離子源提供用於在底物中植入汙染物的高能離子。兩個植入系統包括一個加速器和一個減速器，控制離子到達基材前後的速度。加速器將離子加速到高速，而減速器則在離子到達材料之前將其減速。8010的監視器設計用於確保將正確的預定劑量輸送到基材上。它使用各種傳感器和探測器來測量輸送的離子量。顯示器還提供有關植入過程的當前狀況的信息,包括電源電壓、工藝電流以及對基板的暴露劑量。這些信息有助於操作員確保所提供的劑量準確和適合底物。VARIAN 8010還包括各種安全功能,旨在保護底物材料和操作員免受與離子植入相關的潛在危害。這些特點包括防輻射、過壓、過溫和過壓。該系統還包括一些診斷工具，如警報和自動關閉，以便在植入過程變得危險之前檢測與植入過程相關的潛在問題。總之，8010是一種高精度的離子植入器和監測器，旨在安全準確地輸送用於各種高科技設備制造過程的高能離子。它使用離子源、植入系統和監測工具的組合，對輸送到底物的離子劑量提供可靠的控制。該系統還包括多種安全功能，以確保基板和操作員的安全。