二手 VARIAN 8010 #9269115 待售

VARIAN 8010是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates制造的離子植入器和顯示器，用於半導體晶圓的離子植入。8010提供了一種高精度的儀器，可以將離子植入到多種材料中，包括矽、的、的、的和砷的。VARIAN 8010設計有兩個基於飛利浦的植入器（PVF-4/2和PVF-4/4）以及一個基於伺服電機的植入器（VARIAN 8100）。8100植入器能夠自動控制整個植入過程，以最大限度地提高精度和精確度。8010有幾個特點，使其成為離子植入的理想選擇。首先是它能夠採取廣泛的基板，讓使用者用多種材料製造裝置。VARIAN 8010也有可變電流範圍，允許植入更大範圍的粒子能量。8010有先進的束脈沖設備，使離子加速到比靜態系統更高的能量。這個脈沖系統增加了粒子的均勻性，也允許調整整個晶圓的能量分布。VARIAN 8010還有一個高度精密的監控單元，可以在整個植入過程中持續監控底物和植入的離子。本機收集劑量、電流、溫度、時間、電壓等參數的數據，並向用戶提供植入進度的即時反饋。8010還有一個全面的界面，允許用戶配置植入參數以及監控和分析產生的植入離子。VARIAN 8010允許極其精確和精確的離子植入。它能夠生產光束點直徑為25 μ m至250 μ m的設備,具體取決於配置。8010還有一個可選的深度監控工具，可以防止顆粒過度滲入基板。簡而言之，VARIAN 8010是一種離子植入器和監控資產，提供了一種高效、精確的方式將離子植入各種各樣的底物中。8010精度高,可生產光束點直徑為25 μ m至250 μ m的設備。此外,VARIAN 8010還具有先進的監控模型和接口,可用於配置和監控植入物參數。所有這些特性使得8010成為離子植入的理想選擇。