二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS E11072881 #293656610 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS E11072881離子植入器和監控器是為集成電路和其他電子設備中摻雜而設計的高性能設備。它配備了超高偏差和低能量植入能力，允許精確控制摻雜深度和濃度。該系統以二氟苯（DFB）電子轟擊離子源為基礎，提供了高度的離子束均勻性和穩定性，並裝在高真空室中，以保證清潔運行。該源在大約10-4 Torr的壓力下運行，能量範圍在3到50 keV之間。該單元的控制電子設備具有用戶友好、菜單驅動的界面，具有自動植入和過程參數，包括光束電流、光束電壓、光束直徑、光束電流控制、能量範圍、掃描時間和光束聚焦。該機還包括一系列安全措施，如輻射探測器、發射光學室以及用於監測資產運行的報警工具。離子植入器既可用於中電流植入，也可用於高電流植入。它具有獨特的雙粒子加速器設計，可以適應各種不同植入過程的需要。加速器腔允許快速、精確地植入預編程參數，並具有提供高植入率的可變坐標離子遞送模型。離子植入監控設備可以自動監控植入過程的結果，從頭到尾，以確保一致的植入結果。監測系統包括一系列腔室探測器，用於測量植入過程的能量、電流和其他參數。AMAT E11072881裝置是一種用於電子設備植入的可靠、易於操作的機器。它非常適合集成電路的快速、準確的摻雜過程，具有自動控制植入參數的特點。該工具配備了輻射探測器和發射光學室等安全功能，並具有用戶友好、菜單驅動的界面。資產還包括一個增強的監測模型，以確保一致的植入結果，以及一系列的腔室探測器來測量植入過程的能量和電流。