二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9218042 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一種離子植入器和監控器，作為半導體制造過程中植入和分析的全自動設備而構建。它具有先進的植入技術，以滿足行業標準的性能要求，以及集成晶圓處理子系統。該單元提供了高度精確的劑量分布和均勻性。能提供高離子通量率和可靠的植入均勻性。AMAT VIISta 80配備了兩個獨立的離子源，這些離子源具有熱發射器和輔助離子源，如D-11和E-30三極管、射頻供氣和X射線發射器。這些組件設計用於在各種植入條件下產生精確劑量。機器還包括一個裝有多個機器人的自動晶片處理子系統和一個可移動的橋，可以用來在離子植入器和分析工具之間轉移工件。自動化資產利用模式識別軟件使晶片在橋上正確定位，方便多種工具的準確操作。VARIAN VIISta 80能夠同時植入單晶圓和多晶圓。它還具有一個脈沖模型，可以調整為均勻或不均勻的劑量，以確保最佳的植入。該設備還包括單晶片和多晶片植入的優化程序。此外,系統還提供高級監控功能,包括光束電流、溫度、動態範圍和光束強度報告。此報告工具使用戶能夠評估植入器的光束輪廓、性能和劑量控制。APPLIED MATERIALS VIISta 80是一種在半導體制造部門植入和分析的高效可靠工具。具有先進的特點，保證了最優植入、精確的劑量分布和可靠的均勻性。此外,監控功能提供全面的分析和報告,使用戶能夠優化性能並保持嚴格的過程控制。