二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9227311 待售

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ID: 9227311
晶圓大小: 12"
優質的: 2000
Ion implanter, 12" Removed parts: Turbo pumps Cryo pumps Compressors Roughing pumps Enclosures Load ports Platen chillers Beam guides Source / Electrode assemblies Power supplies Controllers 2000 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80系列離子植入器和監控器是為離子植入應用而設計的先進設備。AMAT VIISta 80是一種4罐W源,提供高能量的離子束,使其適合多種植入過程。該系統由質量濾波器組件、濾波源和光束傳輸單元組成。質量濾波器組件由垂直方向的圓柱形反作用室和各種組件組成,用於粒子光學、真空和電隔離。濾光源執行光束的質量選擇性,而光束傳輸機有效地破壞和限制背景離子。VARIAN VIISta 80的高功率能力使其成為半導體器件植入的絕佳選擇。它可以在高達25 keV的最大劑量率或高達1-3 keV的單個離子能量下運行,這兩者都使得它成為各種摻雜或汙染控制過程的絕佳選擇。該工具還設計為用戶友好的觸摸屏界面和設置菜單。APPLIED MATERIALS VIISta 80包含幾個監控和控制離子植入過程的功能。資產包括高速光束采集監視器,允許用戶監控光束的確切位置、方向和能量。該模型還包括壓力監測和控制組件,以及溫度和濕度監測系統,以確保最佳植入條件。此外,VIISta 80還包括一些有助於安全和合規性的功能,如接地屏蔽和離子源地球監測器。該設備還配備了多種附加組件,用於植入過程的高精度原位分析,如光束位置遙測頭、零件傾斜監視器和旋轉監視器。總體而言,VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一款先進的離子植入器和顯示器,旨在為各種植入物加工需求提供卓越的性能。它為操作員提供一系列功能和監視器,以及增強的安全性和合規性功能。AMAT VIISta 80系列具有高功率、精確度和靈活性,是離子植入應用的理想解決方案。
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