二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9243147 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一種先進的離子植入器和顯示器，設計用於半導體制造過程。它的高級功能使用戶能夠精確控制離子束能量、角度和電流密度。這允許對制造過程中使用的基材進行高度精確的摻雜。AMAT VIISta 80具有四軸掃描系統,可快速、精確地將離子束對準基材。它還提供了幾種不同的用戶可選操作模式，包括批處理、多通道處理和自定義植入。此外,還可以定制離子束以滿足應用程序的特定需求。VARIAN VIISta 80還具有一系列監測能力。它包括一個光束電流監視器、植入物電流監視器、溫度和壓力傳感器，以及一個用於可視化植入物深度的X射線監視器。它還監控整個晶圓表面植入深度的均勻性。APPLIED MATERIALS VIISta 80的中間質量濾波器（IMF）提供了植入離子束的精確濾波。它有助於消除不需要的離子種類，如微量原子或重顆粒，確保只將所需的種類植入基質中。這有助於最大限度地減少植入物損傷，並產生高質量的摻雜水平。VIISta 80的軟件允許優化工藝條件。它可用於控制各種參數，如氣體壓力和電壓，用於優化基板。它也可用於創建和存儲最佳加工條件的配方。此外,VIISta軟件界面可以輕松生成詳細的系統性能報告。簡而言之，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是針對半導體制造工藝優化的先進離子植入器和監測器。其四軸掃描功能、用戶可選擇的操作模式、監控功能、中間質量濾波器以及優化的軟件，使其成為制造過程中使用的基材精密摻雜的強大工具。