二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9260239 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80是一種高性能的離子植入器和監視器。它旨在為植入提供最高精度和精確度，這是半導體制造中必不可少的一步。AMAT VIISta 80具有多種功能,包括高精度離子源定位、最大20厘米的源到樣本距離範圍、多種離子植入能量、集成的等離子體源、先進的冷卻和再造系統以及現場過程監控包。VARIAN VIISta 80構建在一個先進的工業自動化平臺上,該平臺可實現高效的操作,並具有廣泛的前沿功能。離子源定位系統允許離子源相對於樣品進行高精度定位，使植入材料具有典型的均勻性。源到樣本的距離範圍高達20厘米，為用戶選擇離子植入提供了前所未有的靈活性。此外，該機器還提供各種離子植入能量，允許使用更廣泛的材料和應用進行操作。VIISta 80包含一個集成的射頻等離子體源，能夠產生高達5,000 K的溫度，大大提高了向樣品提供離子的速度和精度。該機裝有兩級反應堆工藝冷卻再造系統，確保運行一致，提供高效能源利用。此外，先進的原位監控包確保植入過程的持續性能和反饋，使人們能夠從技術上洞察植入器的操作，促進更高的植入質量和提高生產率。總體而言，應用材料VIISta 80是實現高精度離子植入的理想機器，具有無與倫比的精度和效率。其先進的自動化平臺、廣泛的離子植入能量、集成的等離子體源以及兩級反應堆工藝冷卻再造系統，使其成為半導體制造商的最佳選擇。此外，它的原位過程監測包提供了關於植入過程的實時反饋，允許特殊的控制和質量保證。