二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #293630184 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALSVIISta 80HP離子植入器和監控器是一種先進的設備，用於精確控制摻雜劑和其他離子植入過程。它是一種既能提供高功率又能提供高精度的緊湊設備。該系統由高壓電源、離子源、光束分析和控制單元、溫度控制機、屏蔽和離子束監視器組成。電源的最大電壓為1,000 kV,可提供高達80kW的植入物電源。它還具有高頻預偏置能力，可提高植入區域的均勻性。電源還包括自動診斷功能,可用於檢測過程中的任何不規則性。離子源提供了一個受控的高度局部化的等離子體，可以用來產生光束電流密度高達25mA/cm2。光束分析和控制工具采用了復雜的粒子光學器件，以確保只植入所需的粒子。溫度控制資產能夠保持植入過程的最佳溫度條件。它還包括一個熱像儀模型，能夠監測植入過程中的源溫度。屏蔽設備由先進材料和屏蔽設計組成，可提供出色的防輻射防護，並確保只有無害水平的殘留輻射才能到達互鎖系統。離子束監視器連續測量光束參數，包括電流、能量和位置，提供反饋來調整光束，以減少植入物中任何不希望的不均勻性。總體而言，AMAT VIISta 80HP離子植入器和監控器是一種高性能裝置，能夠精確控制離子植入過程。它是一種用於半導體制造中植入步驟的可靠、通用的裝置，提供了廣泛的光束電流和功率設置，以及一套全面的安全特性。