二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292217 待售
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ID: 9292217
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source removed
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beam-line module:
90° Magnet assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module:
Angle cup: E11127951
Roplat kit
(2) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assembly, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Beam gate assembly, P/N: E11084150
Supply interface PCB, P/N: E15003820
Orient assembly, P/N: E11320430
PMC A3 Board, P/N: E11559950
Left PRI Robot, P/N: E40001450
ESC, P/N: E11368067
Bipolar switch box, P/N: E11335731
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
QUAD2 Power supply, P/N: E19297910
D2 Power supply, P/N: E11326011
Source isolation controller, P/N: E11106222
K2 Relay, P/N: E65000649
(3) ADIO, P/N: E11292270
PFG Controller, P/N: E11092090
V17 Valve, P/N: E32000150
Scan motor assembly, P/N: E11061452
L/P Clamp assembly
ARC Power supply CABLE, P/N: E16135690
IG2 Gauge, P/N: 354019-TD-T
(2) IG3 Gauges, P/N: 354019-TD-T
G2 Gauge, P/N: E33000206
G3 Gauge, P/N: E33000206
G10 Gauge, P/N: E33000206.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP Ion Implanter and Monitor是一種高精度儀器，廣泛應用於半導體制造業。它是一種重型工具，能夠執行高精度的離子植入和精確的沈積監測。AMAT VIISta 80HP使用三個不同的光束源將離子植入各種半導體材料中。這些包括硼、磷、砷、濃銨。監視器由一個X射線探測器組成，用來測量植入過程產生的X射線強度。通過三個不同來源的組合，可以實現離子註入的精確模式，從而優化半導體器件的性能。除了離子植入，VARIAN VIISTA 80 HP還提供準確的沈積監測。沈積過程中，使用X射線探測器測量沈積層的厚度。這確保了為實現半導體器件的最佳性能而實現層的預定厚度。當涉及到控制和準確性時,APPLIED MATERIALS VIISta 80HP旨在提供最高級別的控制。它裝有各種計算機系統，能夠提供高精度和精確度。計算機系統與圖形用戶界面集成，用戶操作簡單易行。此外，該系統利用先進的監控系統，使用戶能夠方便地檢測植入過程中可能發生的任何問題。總體而言,VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP是一款高性能離子植入器和顯示器。它具有執行精確離子植入和準確監測沈積過程的能力。此外，其用戶友好的圖形界面和高度精確的監控系統使其成為半導體行業的理想工具。
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