二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218 待售
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ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP是一種用於生產半導體芯片的離子植入器和監控器。該裝置用於將離子植入晶片表面，改變其電性能。AMAT VIISta 80HP是一種高端植入器，能夠在各種材料和條件下準確、一致地植入離子。該設備具有多種性能功能。它能夠與其他離子一起植入硼、磷、砷、移植物，並且可以在高達100公斤電子vetts的能量下運行。它還具有+-1%的均勻性，0.1%的準確度下降到0.01%，對於較大的植入物區域的分辨率比1 nm好。該設備的吞吐量高達每小時8個晶圓，這意味著它可以每秒植入800萬個離子。此外，VARIAN VIISTA 80 HP擁有全面的監控系統。它配備了一個實時能量讀出裝置，使電壓和電流斜坡能夠根據需要進行監測和調整。它還具有實時動態範圍調整，確保植入的離子保持在所需的範圍內。VIISta 80HP的性能和監控也可以根據具體應用進行調整。三重濾波器管理系統旨在優化性能和最大限度地減少缺陷，同時保持所需的植入物劑量。它結合了三個集成通道，對多個參數進行精確控制。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP也被設計為減少廢物和排放，因為它對水和廢氣的要求很低。該設備能夠進行自我監控和自我校正操作,並且可以通過單個插頭和電源插座進行操作。這使得它成為生產線的節能選擇。總體而言,VARIAN VIISta 80HP是一種強大可靠的離子植入裝置.該裝置操作精密一致，能效高，是生產線應用的絕佳選擇。憑借其全面的監控系統，AMAT VIISTA 80 HP可以確保植入物準確一致地進行。
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