二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292219 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9292219
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source head
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1 (Removed)
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4 (Removed)
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly, P/N: E11084141
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens assembly and ES decel
Process chamber module:
Angle cup, P/N: E11127951
Roplat kit
BROOKS AUTOMATION 354019-TD-T Vacuum gauge
(3) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) GENESIS ICP 320 LQ Pumps
(2) GENESIS HC80 Cryo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100N Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
Remote PD CVCF assy
Remote rack
Missing parts:
Controller mass flow, 0-3 SCCM, PH3, 4RA P/N: E23000350
Controller mass flow, N2 calibration 5 SCCM P/N: E23000101
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Advanced platen, P/N: E11368067
Dual PFG power supply controller assembly, P/N: E11092090
Quad lens, P/N: E11289020.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP是為研究和制造用途而設計的高性能計算機控制離子植入器和顯示器。它是包括半導體離子植入在內的多種加工應用的可靠設備。AMAT VIISta 80HP模型可以處理所有標準植入任務。它用途廣泛，可以平面或垂直或圓頂雕刻。它可以處理不同形狀和大小的粒子，並具有很高的精度。憑借其高分辨率顯示，離子束可以被精確編程、跟蹤和監控。VARIAN VIISTA 80 HP具有強大的光束控制系統,用戶友好,用戶可以輕松編程。利用三種光束操作方式，可以根據加工應用的具體需要量身定制光束。光束可以偏轉、聚焦，可以根據需要調整光束功率。該單元的高精度光束監測和控制機器，包括一個光束關閉裝置（BTO），確保目標粒子的準確甚至植入。VARIAN VIISta 80HP還采用了閉環計算機控制的抽水工具，允許高真空條件進行有效但清潔的植入。溫度控制裝置保證了植入室內溫度的一致，以達到最佳性能。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP提供清潔、精確的離子植入,具有極高的精確度和控制力。其有源區域監測器提供了光束位置和強度的實時信息。它還提供有關晶片表面輪廓的精確信息,以及其集成的表面輪廓監視器。此外,其他功能還包括用戶友好的圖形用戶界面、可編程配方以及數據保存和檢索。VIISTA 80 HP是基於植入處理的可靠而強大的模型。它具有用戶友好的圖形界面和增強的光束操作，提供了極大的控制和精度。它具有許多特點，非常適合研究和生產應用。
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