二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 #9223170 待售
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單擊可縮放
ID: 9223170
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
High energy ion implanters, 12"
(4) Cassettes / (4) FOUP Positions
ASYST 300 OHT Transport, 12"
All Cables included
GEM / SECS Interface
Mid current classic: 810
Bernas source
Dual vaporizer
(7) Programmable tilt angles
Tilter head revision: Type C
EDWARDS iQDP80 Dry pump
EDWARDS iQDP80/500 Dry pump
Dose range: 1e^11 ~ 1e^13
Turbo's:
Dimmer magnet
Source
End station
Cryo's:
(3) Process chambers
Scan chamber
Process gasses:
Gas 1: HP
Gas 2: SDS
Gas 3: SDS
Gas 4: SDS
Does not include:
Chiller
Dry pumps
Cryo compressors
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 270 kV
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810是一款高級離子植入器和顯示器,專門設計用於提高性能和精確控制,以滿足廣泛的處理需求。該設備集成了高分辨率、高性能的電子倍增器，能夠實時測量植入物能量，確保每個植入物過程的均勻性和準確性。AMAT VIISta 810還利用了獲得專利的端站控制系統（ESCS）。這允許在任何過程中精確和一致地控制植入物和監控參數，確保只使用預設參數。此外，VARIAN VIISta 810提供了一個監測植入過程的集成單元。內置診斷機器允許操作員持續監控植入過程，並根據需要進行所需的調整。這種監測工具允許校準陽極電流和植入能量。APPLIED MATERIALS VIISta 810的磁滯監測儀也可以更好地控制樣品環境。這個自動化的資產在植入點的步驟監控植入物的能量和劑量，以便任何與預設參數的顯著偏差都可以快速響應。VIISta 810還提供了多種可訪問性選項。使用可選的遠程控制臺,用戶可以從不同的位置監視和控制植入過程。此外,還有一個用於在線連接的以太網端口,因此多個用戶可以從不同的計算機監控植入過程。該車型還帶有內置的安全特性。安全聯鎖可檢測電流過載和不安全電壓,防止危險操作。此外，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810符合所有最新標準，以確保房地的高度安全。最後，AMAT VIISta 810是一種先進的離子植入器和顯示器，專門為提高性能和精確控制而設計。直觀的控制和內置的安全功能使其成為滿足各種處理需求的理想選擇。
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