二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293646025 待售
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已售出
ID: 293646025
Ion implanter
Process chamber
COMP II ESC
Roplat tilter assembly
UES2 Process end station
Dual load locks:
25 Wafer capacity
Polished integrated loadlock
Self aligning atmospheric door
4-Wafer walk out sensors in pass through cassette
Through-beam wafer mapping sensor
BROOKS AUTOMATION DBM- 2076V2 Buffer robot with track movement
ESC Controller:
P/N: E19283790
MFC / Pressure unit: Argon, BF3, AsH3, PH3
Drive mechanism:
E11320430 Orientor Assembly
VAC-407 IN VAC Arms
Foups/Load ports: 4-FOUP Complies
Module:
Gas module 1: Argon
Gas module 2: BF3
Gas module 3: AsH3
Gas module 4: PH3
Exhaust / Pump system:
BOC EDWARDS STP-A Source turbo pump
BOC EDWARDS STP-A Beam line turbo pump
EBARA A10S Source rough pump
EBARA A10S End station rough pump
BROOKS OBIS320FE Cryo pump
TC750 Load-Lock Turbo pump
Power supply: 3 Phase, 208 VAC.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一種離子植入器和監控器，旨在為半導體器件制造提供出色的工藝控制和高生產率。設備的高級功能位於單個腔室內,並由用戶友好界面控制。系統的離子植入器部分由一個大的、圓柱形的高能加速器組成，具有可調的開口角度，可以設置到不同值的範圍內，以調整離子的角擴散。這允許各種植入選擇性選擇，如大角度和廣域植入物。該單元還具有高精度、10軸饋線，可以以微米級精度定位，允許精確控制離子束的位置、大小和形狀。該機的監控部分采用多檢測器設置，可以測量植入器束電流和能量、通量密度、大角度散射和角度擴展等一系列參數。這允許對植入過程進行連續質量控制，並將設備故障的風險降至最低。該工具還配備了緊急停止和屏蔽保護等幾個安全功能，以防止在操作資產時受到高能輻射，最大限度地降低受傷風險。它還包含一個復雜的光學和電氣診斷模型，以監測離子束的性能並確保最佳性能。此外，AMAT VIISta HC旨在方便地集成到現有生產線中，並提供與外圍部件（如等離子體或蝕刻系統）連接的選項。這提供了極大的靈活性，保證了整個生產線的可靠運行。總體而言，VARIAN VIISta HC是一款功能強大、可靠的植入器和顯示器，能夠在半導體器件制造中提供出色的工藝控制和高產。
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