二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293766493 待售

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一種高精度、高容量的離子植入器和監控器，旨在以高劑量率管理高劑量離子。離子束能量被加速到35 MeV。該機器配備了廣泛的技術、功能和選項，使用戶能夠在大面積上精確地植入離子，並以精確控制的劑量進行多年集成電路制造。設備配置性強，可編程以各種方式進行有針對性的離子植入。它具有多級可變能量加速度系統，具有多種能量設置，可精確控制離子束能量。該設備還具有數字掃描控制器，具有自動掃描功能，可用於模擬和驗證所需的植入形狀。多管控制機為高劑量均勻性，對仿真參數進行精確控制，對離子束進行精確對準。AMAT VIISta HC還具有高容量、多級氣體凈化工具，最大限度地減少濺射，最大限度地提高離子註入效率。這一資產確保了對離子束組成的顯著控制，並有助於保持恒定的離子種類組成。VARIAN VIISta HC還配備了安全功能，以保護操作員在使用過程中免受離子束的傷害。安全特性包括植入過程中覆蓋光束路徑的安全百葉窗、減少雜散輻射的力場以及緊急關機模型。VIISta HC可以監測所有離子註入參數，包括劑量、束電流、陽極電流、束寬度、氣體壓力和氣體成分。監測設備向操作員實時反饋目標植入物的組成及其對基質的影響。這些信息可用於驗證和優化離子植入過程。APPLIED MATERIALS VIISta HC還配備了多種阻尼機構，以盡量減少離子束加速度可能引起的機械振動。該機專為長期運行而設計，可輕松操作數年。總體而言，VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC是一種先進的離子植入器和顯示器，旨在提供高精度、高容量的植入。通過結合高容量、多階段氣體凈化、精確數字掃描、安全快門等特性，再加上監控、阻尼等特點，這臺機器在高劑量時提供了出色的植入參數和均勻性。其全面的安全特性也使其成為操作員更安全的工具。AMAT VIISta HC是高端集成電路制造的理想選擇。