二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta PLAD #9359237 待售

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ID: 9359237
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Ultra high dose plasma implanter, 12" 2008 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta PLAD是一種先進的離子植入器和顯示器,用於半導體制造。它是一種用於控制半導體材料摻雜的工具,通過在非常高的精度水平上創建電荷模式。AMAT VIISta PLAD實現采用了多種半導體材料,並用一定劑量的離子植入它們,以創建預先確定的電通道模式,然後產生晶體管或二極管等器件。VARIAN VIISta PLAD可以使用的離子的輪廓包括但不限於硼、氮、砷、磷和矽,它們在各種不同的應用中都是有用的。APPLIED MATERIALS VIISta PLAD有多個離子植入器工具和監視器,這些工具和監視器都設計用於提高設備層的一致性、降低成本和維護設備性能。VIISta PLAD的主要工具之一是能量和角度控制設備(EACS)。EACS允許精確選擇離子能量和角分布,這對於廣泛的摻雜水平是必不可少的。它還能夠調節加速度能量、劑量率和光束光斑大小。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta PLAD的另一個主要工具是利用所有光束掃描角度的光束掃描系統(BSS)。該單元還允許高精度操作和模式,以實現各種劑量在大面積。AMAT VIISta PLAD還配備了多種附加技術工具,如氣體緩釋機、不同氣體類型的噴射器接口、離子源對準工具、靜電卡盤以及多種離子源。這些工具協同工作,有助於隨時間推移保持穩定運行,並確保興奮劑處理的準確性和可靠性。總體而言,來自AMAT的VARIAN VIISta PLAD是一種高度先進和先進的離子植入器和監控資產。它可以精確精確地控制半導體材料的摻雜,創造出特定的電荷模式,同時將成本和工藝時間保持在較低水平。
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