二手 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta #9292131 待售
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ID: 9292131
High current implanter
IAN Computer, P/N: E11451450
Hard Disk Drive (HDD)
NCS Computer, P/N: E19012602
(4) FIXLOAD 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM2706-V2 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC407 PRI Robots, P/N: E11451450
Source module:
Gas box, P/N: E11323800
Source head: IHC Source assy, 12"
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11116782 / Gas5
E11336371 / Gas6
Beamline module:
90° Module: VIISTAHC I
Beam gate assy: 90° Solenoid control assy
Decel lens assy
70° Module
D2 Lens and HCP
Process chamber module:
Angle cup: Sampling cup faraday
Roplat assy
ESC Platen
(3) GRANVILLE PHILLIPS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(2) CTI-CRYOGENICS IS1000 Cryo pumps
(3) ZEUS OBIS-320FE Pumps
Main PD assy, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
EDWARDS IXL100N
EDWARDS iGX600M
EDWARDS iGX100MTi
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta是一種先進的離子植入器和監控器，旨在為半導體器件制造提供高精度的離子束傳遞。它能夠提供廣泛的光束能量，因而具有多種離子種類，同時控制光束強度和放置的精確度非常高。該單元由幾個模塊組成，包括離子束加速和束形成組件、束掃描設備、端站。加速系統采用軸向場磁共振設計進行離子束能量控制.這種設計能夠產生高達500keV的離子束.該單元的電源還包括用於精確光束能量調節的快速脈沖檢測和控制電路。此外，機器還包括幾個光束質量監視器，以確保光束適合應用。離子束掃描工具基於一種先進的、快速轉向的資產，產生類似Lissajous的圖樣，將光束精確引導進入晶圓。該型號包括一臺電腦控制的高速設備，每秒最多可產生256個面積，分辨率高達0.02微米。離子束轉向器還能夠產生非常小的圓形圖樣靶標，以便進行高級控制。端站是一個全自動晶圓處理單元，帶有集成的過程監視器。這個單元包括幾個傳感器來跟蹤晶圓和離子束的位置和方向，並監控植入過程。它還利用板載軟件進行設備跟蹤和分析。此外，該單元還包括一個適用於不同基材類型的通用晶片夾緊系統和一個可調節的腔室，用於操縱植入深度。最後，該單元包括一個用於集成到計算機網絡中的雙向通信接口。綜上所述，AMAT VIISta是一種先進的離子植入器和監測器，能夠提供精確的光束能量和精確的控制光束放置，精確度非常高。它的許多組件，從離子束加速單元和光束掃描控制到端站及其集成的過程監測算法，使其成為任何半導體器件制造需求的理想選擇。
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