二手 VARIAN CF 3000 #9242115 待售

VARIAN CF 3000 Ion Implanter&Monitor是由VARIAN, Inc.開發的一種具有革命性意義的離子植入和監控系統。它是世界上最先進的離子植入器，能夠在緊湊的設計中提供最大的靈活性、可靠性和性能。它是一種多源、多目標的設備，設計成本效益高，參數易於快速調節。該裝置配有獨特的離子源，用於獨立控制專門的離子植入參數。該光源的光束電流範圍為1-10mA，光束能量範圍為0-7,000 eV，可以精確控制每個植入過程。其光束電流密度可達600A/cm ²，使其能夠進行廣泛的植入過程。該源設計用於在較短的停留時間內提供更高電流的植入過程,以便在具有關鍵參數的應用程序中獲得更高的精度。VARIAN CF3000配有現代化的顯示器設計，隨著植入過程的發展，可以快速準確地測量基板參數。該監視器能夠測量植入物的深度、底物溫度、離子束電流和能量、底物尺寸等參數。顯示器的占地面積很小,深度範圍也很大,可以安裝在小型真空室中,從而節省了實驗室的寶貴空間。該系統配有一個主動平臺，設計用於晶圓在6軸中的超平滑運動，包括水平、垂直、旋轉和傾斜運動。這是由一個用戶友好和直觀的軟件界面控制的，該界面可以方便地操縱晶圓基板。它還具有高精度溫度控制和主動冷卻系統，以確保一致和精確的結果。CF-3000還采用了集成電源的緊湊設計,有助於節省寶貴的實驗室空間並降低運營成本。該設備經過多年的可靠使用,可實現無維護,其延長的生命周期可確保準確性和長期工作效率。CF3000非常適合需要精確控制植入參數的實驗室環境,例如在半導體制造和研發領域。這是一個理想的設備，對於那些尋找一個經濟高效和多用途的植入器具有最大精度和控制。