二手 VARIAN CF5 #9210374 待售

VARIAN CF5是由VARIAN集團旗下的VARIAN Semiconductor Equipment建造的離子植入器和顯示器。VARIAN CF-5提供了一系列工具和功能來支持高級離子植入處理。CF5具有高能、高束電流和高精度的離子註入電子沖擊源。它配備了高性能控制器，強大的面向能量的窗口植入物操作環境，以及設計用於處理多種材料的堅固光束線。此外，CF5還提供了先進的過程控制功能，使用戶能夠達到處理各種植入需求的結果。CF-5具有60-150KV植入物能量和1-500uA光束電流的能力，以及廣泛的光源光束調節能力，以創造最佳質量的植入物。此外，VARIAN CF 5還提供高度精確的劑量控制能力，壓力在0.001-1 mTorr之間。VARIAN CF5配合先進的高精度壓力劑量校準系統，能夠產生高度一致的植入物批次。此外，VARIAN CF-5的均勻性模式設計為提供均勻的劑量和能量分布，同時保持均勻的劑量、能量和光束強度。該模塊還可以實現極其精確的定位和對準參數，以便對植入進行嚴格的控制。CF5先進的離子監測器設計為對噴嘴尺寸、噴嘴與樣品距離、註入能量等工藝參數進行實時監控，同時不斷調整以達到最佳效果。顯示器配有直觀的圖形界面、全面的系統日誌記錄功能和可追蹤的數據，以確保盡可能最精確的監控。綜上所述，CF5是一種先進的高質量離子植入器和顯示器，旨在為用戶提供離子植入過程的各種選擇，以及高度精確的劑量控制能力，加上精密、高精度的壓力-劑量校準。此外,CF-5還具有用於實時過程監控的高級離子監視器,以及可跟蹤的數據系統,以確保獲得最精確的結果。