二手 VARIAN DF4 #9181748 待售

VARIAN DF4是一種用於半導體制造和納米技術的離子植入器和監控器。它在植入過程中提供高水平的準確性和控制。該裝置適用於廣泛的低能離子植入應用，包括超淺結形、離子位移損傷和晶界工程。設備包括一個包含集成數字信號處理（DSP）卡的大型機機箱和幾個外部元件,如離子源、準直器和加速器。大型機還在真空室內容納了幾個溫度穩定的離子源，包括用於較重離子註入的較高能量源。使用專有算法,DF4可以精確控制離子束電流、劑量和能量參數。VARIAN DF4具有幾個關鍵特性,在離子植入時具有很高的精度和控制能力.該系統設計為在多種不同模式下運行，電壓範圍可變，使其能夠在一系列不同的材料和條件下高效運行。這個可變電壓範圍還有助於最大限度地減少離子植入過程中的汙染和交叉電荷積累。DF4還使用先進的診斷和監測，包括一系列全面的傳感器和探測器，提供有關設備狀態和性能以及過程的實時數據。這些傳感器和探針有助於確保在任何時候的準確性和控制，以最大限度地提高植入過程的效率。此外,該機器還具有內置圖形用戶界面（GUI）和專家工具,用於快速可靠的診斷和故障診斷。GUI和Expert Asset還允許自定義整個植入過程。此外,該模型還包含多個安全協議,以確保植入過程安全。總體而言，VARIAN DF4是一種高度先進和精密的設備，在離子植入方面提供精確和控制。其廣泛的特點，從可變電壓範圍到全面的診斷和監測，確保其在盡可能廣泛的材料和條件下有效運作。