二手 VARIAN DF5394-1 #9260507 待售

VARIAN DF5394-1是一種先進的離子植入器和監控器，專門設計用於提供可靠、高性能的多個離子植入晶圓基板。DF5394-1是一種多束中電流離子植入器，具有一系列組件，以確保在各種應用設置中最佳的植入過程。VARIAN DF5394-1配備了先進的質量流控制器（MFC）,可精確控制過程限制陰離子和陽離子,還配備了Peak Lock Control （PLC）系統,可確保可靠的並行性和均勻性。這兩種系統都能在植入過程中實現高精度，減少排放並提高性能。植入器的植入源為單陰極、低能二極管設計。該系統允許植入器以一定範圍的能量運行，從低到高水平。在陽極極限為900V的情況下，植入器可以在廣泛的植入材料上實現高性能，包括矽、硼、氟等種類。二極管設計還確保植入器的快速響應時間，有助於減少完成植入過程所需的時間。DF5394-1具有專門的監視器，在植入過程中易於監測。這款顯示器提供了同時監控多個離子的能力，使用戶可以輕松觀察植入過程的每個步驟。這提供了更好的控制，以及在必要時更容易調整植入過程。監視器還包括一個自動劑量調整系統，提供對植入過程的精確控制，同時不需要手動調整。VARIAN DF5394-1提供了可靠的性能設計,適合光學、高精度和高效的植入操作。它的高級組件確保在整個過程中易於操作和提高準確性,而監視器則能夠對植入過程進行連續監控和詳細控制。低能源允許各種可植入物種和能量水平，使DF5394-1成為一個可靠和多用途的植入器多種應用設置。