二手 VARIAN Disk for 160XP #9412732 待售

VARIAN Disk for 160XP是一種高性能的離子植入器和監控設備。它旨在提供離子精確的註入基板，如半導體晶圓。該系統能夠與光束電流一起精確控制和測量離子能量、離子劑量和光束輪廓，從而實現材料的最佳處理。160XP磁盤還配備了精密的內部控制和監控軟件，可以進行精確的過程控制和分析。VARIAN Disk for 160XP單元由兩個主要組件組成；磁盤和160XP離子源。磁盤是一個真空絕緣的非磁室，它容納了機器的離子束傳遞和監測組件。160XP離子源是一種電子束控制的源，專為在高電流密度下植入具有精確能量控制的離子而設計。可靠性高，維護成本低。用於160XP的磁盤通過多種方式對離子束進行精確控制。它能夠控制和調節被植入離子的能量及其到達時間。VARIAN Disk for 160XP的能量範圍可以在200 keV時達到峰值，是加工各種晶圓材料的理想選擇。此外,磁盤還可以精確定位和掃描離子束,從而在晶圓上產生所需的植入物輪廓。160XP離子源能夠產生比其他源更高的電流密度，從而實現更快的植入覆蓋。這導致植入基材時生產力提高。離子源還旨在最大限度地減少背景中性顆粒，降低汙染速率，使離子更清潔地沈積。160XP磁盤是一種強大的離子植入器和監控工具，旨在提供對離子束的精確控制。其精密的內部控制和監控軟件可實現精確的過程控制和分析。VARIAN Disk for 160XP是植入各種電流密度較高的晶圓材料的理想工具,從而提高了生產率。