二手 VARIAN Disk for 160XP #9412733 待售

ID: 9412733
晶圓大小: 4"
4".
VARIAN Disk for 160XP是一種創新的離子植入器和顯示器。它專為要求苛刻的半導體離子植入過程而設計,具有超高精度、高通量的操作能力。設備先進的2D半導體處理器和集成的3D X射線成像系統使其能夠在實時監控植入過程的同時,執行最精細的離子植入過程。該160XP采用E-Beam發電機,能夠提供高達1.5kW的功率,可以同時植入比競爭技術更高的電流和電壓。該裝置的先進光刻軟件在植入過程中始終保持所需劑量的電子和離子,精確度和精確度都非常高。VARIAN獨特的陶瓷感應聚焦技術以極高的精度引導離子,實現了對植入過程的更大控制,提高了過程的重復性。增強型聚焦機進一步優化了型材和劑量等光束參數,單批提供了改進的植入性能。先進的X射線成像系統允許植入樣品的完整3 D視圖。該工具能夠同時實時監測植入過程,同時跟蹤其劑量測量,從而實現可復制的最佳植入參數。先進的成像資產還提供了植入物種的自動化檢測,允許過程同時優化。該160XP可與實驗室數據系統和主機處理單元集成,以實現額外的靈活性,從而能夠控制和監控遠程位置的植入物操作。該模型旨在提供超高精度和高通量的離子植入,使其成為半導體制造的理想選擇。
還沒有評論