二手 VARIAN E1000 #158481 待售

VARIAN E1000是一種先進的離子植入器和離子監測器.由離子植入系統制造商VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.開發。VARIAN E-1000利用高精度單軸電機控制器和冷老化電機主軸驅動植入功率和精度。電機控制器和電機主軸的結合提供了劑量速率和峰值電壓的連續控制。E 1000利用先進的診斷傳感器來確保峰值電壓精度,並檢測任何潛在的電弧或其他電氣錯誤。這種錯誤會對離子註入過程中使用的晶片或薄膜造成重大損害。傳感器還監控加速器和範圍鎖的電荷傳遞。這允許最大限度地利用加速器。此外，E-1000利用精確的運動中稱重反饋回路進行光束對準，從而實現精確的植入。E1000還具有五極離子源。該源產生高強度負離子束，具有很強的穩定性和重復性。這保證了離子的均勻植入。還包括一個超精細光束選擇器，以保護晶片不被過多的離子轟擊。VARIAN E 1000可靠性高，效率高，生產率高，每次拍攝成本低，應用多功能性。離子植入器可以配置為處理不同類型的基板，自動化設備可以修改以容納不同層的薄膜或基板。此外，與傳統的單階段應用相比，它在應用方面的靈活性可以顯著節省時間和金錢。VARIAN E1000還具有先進的控制系統。這一單元包括一臺工作站計算機和集成軟件，便於定制，以及實時監控和控制。用戶友好的界面允許方便的操作，而集成軟件則允許方便的數據采集。總體而言,VARIAN E-1000是一種先進可靠的離子植入器和離子監測器.其精密開發的硬件和軟件為離子註入提供了可靠高效的解決方案。集成控制機使操作簡單高效，允許平穩一致的操作。