二手 VARIAN E1000 #158861 待售
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已售出
ID: 158861
Implanter End Station Equipment Rack (cassette module)
Includes:
Granville Phillips vacuum gauge Controller 307
(2) Kollmorgen 00D12B09101-5
Varian Macro Torr Turbo Pump Turbo V-250 969-9007
(3) Varian Gate Valve E11030960
Varian Monitor 104810001
Aydin Controls Monitor 8943L
Circuit Boards:
Varian CPU 101565001
Varian CPU 101565003
Micro Memory MM-6260 AD
Graphic Strategies VGME-6408
Varian CPU COMM.
Varian Analog Control
Varian Digital Cont. 1 101529004
Varian Digital Cont. 2 101529005
Varian Servo Control
(3) Varian Servo Control E15001611
Missing parts
As-is.
VARIAN E1000是為滿足最復雜的半導體制造工藝步驟的要求而建造的高端離子植入器和監控設備。它配備了先進的功能,以最大限度地提高吞吐量、產量和質量控制。VARIAN E-1000離子植入器基於該公司經過驗證的技術,在半導體行業擁有值得信賴的長期記錄。它使用高eV輸出的離子束來修改電路芯片中使用的半導體材料的電氣和化學性質。E 1000由一個50kW電子束提供動力,能夠以高速率實現均勻和深度的植入。它能夠達到高達25mA的光束電流,eV範圍從30keV到200keV。E-1000基於編碼器的微處理器控制系統簡化了操作,保證了精確的能量和均勻的一致性。此外,獲得專利的電流倍增器單元使得高電流植入項目E1000最佳,而雙頻脈沖電流模式和智能設定點切換也可提供。VARIAN E 1000功能由公司的Proton Control™軟件控制,該軟件提供了一套全面的控制參數、監控、警報和控制功能,以及一臺自我診斷機器,用於檢測雜質堆積,確保光束穩定性,並保證組件質量一致。該軟件還包括用於創建掩碼、薄膜分析、氣體和粒子分析以及報告的模塊。VARIAN E1000結構可靠、堅固,由耐用、耐腐蝕的材料構成,並獲得ISO 9001:2015和CE CE認證。此外,它的高效設計允許快速的流程轉換,使用戶能夠輕松地跟上不斷變化的產品要求。總體而言,VARIAN E-1000是一種高效的離子植入器和監控工具,可提供可靠、可重復的結果。其先進的功能,包括基於編碼器的微處理器控制資產和Proton Control™軟件,為用戶提供了所需的控制和監控,而其堅固的構造和高效的設計則允許快速可靠的大容量植入。
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