二手 VARIAN E1000 #200760 待售

VARIAN E1000是一種設計用於半導體工業的高精度離子植入器和顯示器。它將光束線、離子源、光束診斷儀器和高分辨率光束掃描設備結合到一臺緊湊的機器中，並提供端到端的過程控制。植入器使用垂直安裝的離子源產生離子束，然後通過串聯光束傳輸系統將加速的離子指向目標晶片。利用場發射離子源、射頻電源、質譜、高分辨率光束掃描、先進光束監測儀表，優化了離子性能。VARIAN E-1000具有兩級植入器和0.5至50 keV的高分辨率光束。該裝置能夠植入各種高電流至最大200mA的離子，並配備先進的光束診斷儀器和光束轉向技術。它還設計為在高通量下進行單晶片處理，具有電流均勻性和良好的植入物角度和劑量控制。E 1000具有內置的平板顯示器和直觀的用戶界面,可輕松訪問機器配置的各個方面。此外，還提供了先進的信號處理算法，例如用於光束斑點大小檢測和電流補償的算法，以確保準確和精確的植入性能。為了在操作過程中提供額外的保護,E-1000配備了安全互鎖工具、光束停止和過電流保護。VARIAN E 1000因其先進的光束診斷儀器、用戶友好的界面和安全特性，是半導體器件處理的理想選擇。該機的高精度離子植入器和監測器可用於廣泛的離子植入應用，使其成為各種半導體制造工藝的理想解決方案。